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气体质量流量控制器的工作原理
- 2019-11-23-

           气体质量流量控制器由质量流量传感器,分流器通道,流量控制调节阀和放大控制电路等部件组成。

           本质流量控制器利用流动体传递热量改变测量毛细管壁温度分布的热传导分布效应而制成。

           采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量,可以不受温度压力的影响。将传感器测得的流量信号进行放大,然后与设定的电压进行比较,用所得的差值信号去驱动控制调节阀门,闭环控制流过通道的量使之与设定的流量相等。

           分流器在主通道和毛细管间产生层流。

           控制器输出的流量以电压或电流形式输出,满量程为 5V 或 20mA

           显示方式用户可以选为实际流量显示。

           MFC 数字型质量流量计/控制器通过 RS232/RS485 直接与计算机连接。

           控制操作一般在流量显示面板上进行。设置有三位阀门控制开关,当置“关闭”位时,阀门关闭。当置“清洗”位时,阀门开到最大,以便气路清洗。当置于“阀控”时,则按设定电压的数值自动控制气体流量; 当用户设定为满量程时,作为流量计使用。

           控制器输出的流量检测电压与流过通道的质量流量成正比, 满量程(F.S) 流量检 测输出电压为+5.00V。质量流量控制器的流量控制范围是(1~100)%F.S (量程比为 100:1), 流量分辨率是 0.1%F.S 。

           注意:

           当质量流量控制器的“阀控”线置于“清洗”位时,也可以当质量流量计使用。在做流量计使用时,流量检测电压的输出值最大可能达+10V 以上,不过要注意,当流量超过满量程值(+5.00V)后,流量检测电压与通过的实际流量不成线性对应关系。清洗时,流量显示不准确,还可能出现流量增大显示反而减小的异常现象,但并不会对流量计本身造成损伤。

           在气路中气源未开启的情况下,禁止长时间使用清洗功能。用于“清洗”状态的时间不宜过长,否则将对流量控制器的性能产生影响。


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